液晶面板及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對生產(chǎn)制造、搬送存儲過程中環(huán)境的潔凈度要求非常高，公司研發(fā)了一系列潔凈環(huán)境專用設(shè)備，包括液晶面板垂直輸送機(jī)、液晶面板移載輸送機(jī)、半導(dǎo)體晶圓盒垂直輸送機(jī)、半導(dǎo)體晶圓前端模塊等。
液晶面板移載輸送機(jī)
液晶面板垂直輸送機(jī)
潔凈升降機(jī)是液晶行業(yè)潔凈車間跨樓層所需的垂直輸送系統(tǒng)，通過LFC及PLC控制轎廂升降，實(shí)現(xiàn)液晶面板存儲單元跨樓層搬運(yùn)。
1.升降輸送速度：0~90m/min
2.升降輸送加速度：0.5m/s2
3.最?載重：1500kg
4.設(shè)備震動系數(shù)：0.3g
5.設(shè)備使?環(huán)境：Class10-10000
LUL串接液晶?板??的物料儲存與搬送，通過BC技術(shù)控制機(jī)器?將基板從儲存單元取出?移載機(jī)并輸送到各個(gè)制程。
1.裝載卡匣：20~30s
2.退卸卡匣：15~20s
3.最?載重：2000kg
4.設(shè)備震動系數(shù)：0.3g
5.設(shè)備使?環(huán)境：Class10-10000
半導(dǎo)體晶圓盒垂直輸送機(jī)
半導(dǎo)體晶圓前端模塊
該產(chǎn)品主要應(yīng)?于半導(dǎo)體?業(yè)晶圓盒的跨樓層垂直搬送環(huán)節(jié)，占地?積?，成本相較于Tower STK更有優(yōu)勢。
1.升降輸送速度：0~90m/min
2.升降輸送加速度：0.5m/s2
3.最?載重：50kg
4.設(shè)備震動系數(shù)：0.3g
5.設(shè)備使?環(huán)境：Class10-10000
該產(chǎn)品?于半導(dǎo)體?業(yè)晶圓揀選環(huán)節(jié)，集成晶圓?
動尋邊、?精度CCD對位、FOUP?動拆蓋、晶圓?動Mapping及多模式混合排列等功能。
1.晶圓盒開蓋：20~25s
2.晶圓盒關(guān)蓋：10~15s
3.最?載重：30kg
4.經(jīng)過OCR傳?能?：330WPH
5.設(shè)備使?環(huán)境：Class10-10000
